RF-võimsus

RHH seeria raadiosageduslik toiteplokk tugineb küpsele raadiosagedusliku genereerimise tehnoloogiale, et pakkuda klientidele suurema võimsuse, täpsuse ja kiire reageerimisajaga raadiosageduslikku toiteplokki. Faasi seadistamise, impulssjuhtimise, digitaalse häälestamise ja muude funktsioonidega. Kasutusalad: fotogalvaanika tööstus, lameekraaniga tööstus, pooljuhtide tööstus, keemiatööstus, laborid, teadusuuringud, tootmine jne.
Rakendatavad protsessid: plasma abil tugevdatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD), plasma söövitamine, plasma puhastamine, raadiosageduslik ioonallikas, plasma difusioon, plasma polümerisatsiooni pihustamine, reaktiivne pihustamine jne.