RF Gücü

RHH seriyalı RF enerji təchizatı, müştərilərə daha yüksək güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli cavab ilə RF enerji təchizatı təmin etmək üçün yetkin RF generasiya texnologiyasına əsaslanır. Faza tənzimlənə bilər, impuls idarə oluna bilər, rəqəmsal tənzimləmə və digər funksiyalar mövcuddur. Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənayesi, düz panelli ekran sənayesi, yarımkeçirici sənayesi, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.
Tətbiq olunan proseslər: plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çöküntüsü (PECVD), plazma aşındırması, plazma təmizlənməsi, radiotezlikli ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsi püskürtməsi, reaktiv püskürtmə və s.