Nguvu ya RF

Ugavi wa umeme wa RF wa mfululizo wa RHH hutegemea teknolojia ya uzalishaji wa RF iliyokomaa ili kuwapa wateja usambazaji wa umeme wa RF nguvu zaidi, usahihi wa juu na mwitikio wa haraka. Kwa awamu inaweza kuwekwa, mapigo yanaweza kudhibitiwa, urekebishaji wa kidijitali na kazi zingine. Sehemu zinazotumika: tasnia ya fotovoltaiki, tasnia ya onyesho la paneli tambarare, tasnia ya nusu-semiconductor, tasnia ya kemikali, maabara, utafiti wa kisayansi, utengenezaji, n.k.
Michakato inayotumika: uwekaji wa mvuke wa kemikali ulioimarishwa kwa plasma (PECVD), uchongaji wa plasma, usafishaji wa plasma, chanzo cha ioni za masafa ya redio, uenezaji wa plasma, upolimishaji wa plasma, utoboaji tendaji, n.k.