Kuasa RF

Bekalan kuasa RF siri RHH bergantung pada teknologi penjanaan RF yang matang untuk menyediakan bekalan kuasa RF kepada pelanggan dengan kuasa yang lebih besar, ketepatan yang lebih tinggi dan tindak balas yang pantas. Dengan fasa yang boleh ditetapkan, denyutan boleh dikawal, penalaan digital dan fungsi lain. Bidang yang berkenaan: industri fotovoltaik, industri paparan panel rata, industri semikonduktor, industri kimia, makmal, penyelidikan saintifik, pembuatan, dll.
Proses yang berkenaan: pemendapan wap kimia dipertingkatkan plasma (PECVD), pengukiran plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, resapan plasma, percikan pempolimeran plasma, percikan reaktif, dsb.