PDB сериясы
RHH сериялы РФ қуат көзі

RHH сериялы РФ қуат көзі тұтынушыларға жоғары қуат, жоғары дәлдік және жылдам жауап беру арқылы РФ қуат көзін қамтамасыз ету үшін жетілген РФ генерациялау технологиясына негізделген. Фазаны орнатуға, импульсті басқаруға, сандық реттеуге және басқа да функцияларға ие. Қолданылатын салалар: фотоэлектрлік өнеркәсіб, жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі, жартылай өткізгіш өнеркәсібі, химия өнеркәсібі, зертхана, ғылыми зерттеулер, өндіріс және т.б.
Қолданылатын процестер: плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD), плазмалық өңдеу, плазмалық тазалау, радиожиілікті ион көзі, плазмалық диффузия, плазмалық полимерлеуді тозаңдату, реактивті тозаңдату және т.б.

Негізгі мүмкіндіктер

● Жартылай кірпіш және сөрелік бекіту үлгілері
● Ыңғайлы және бай жұмыс мәзірі бар толық сандық басқаруды қолданыңыз

● Жиілікті реттеу, импульстік және импульстік синхрондау функциялары
● CEX фазалық синхрондау функциясымен

● Керемет қорғаныс функциясы

Негізгі параметрлер

Модель сипаттамасы:

Кіріс	Кіріс кернеуі: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Арнайы сипаттамаларды теңшеуге болады)
Кіріс	Кіріс жиілігі: 47~63Гц
Шығыс	Шығыс жиілігі: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
	Баптау диапазоны: ±5%
	Шығыс қуаты: 1,5~5 кВт
	Шығу қуатын реттеу диапазоны: 1~100%
	Шығыс кедергісі: 50Ω+j0
	Шығыс интерфейсі: N түрі
	Шығыс режимі: үздіксіз, импульстік
	Импульс жиілігі: 100Гц~100кГц
	Жұмыс циклі: 5~95%
Өнімділік индексі	Қуат коэффициенті: 0,98
	Жиілік тұрақтылығының дәлдігі: ±0,005%
	Тиімділігі: 75% (номиналды шығыс кезінде)
	Гармоникалық:
	Адасқан:
	Сыртқы басқару интерфейсі: аналогтық сан, байланыс және синхрондау
	Байланыс режимі: Стандартты RS485 байланыс интерфейсі; Қосымша эфирлік CAT, өнеркәсіптік Ethernet және т.б.
Ескерту: өнім үнемі жаңарып отырады және өнімділігі жақсарып келеді. Бұл параметр сипаттамасы тек анықтама ретінде берілген.

PDB сериясыRHH сериялы РФ қуат көзі

Негізгі мүмкіндіктер

Негізгі параметрлер

Модель сипаттамасы:

PDB сериясы
RHH сериялы РФ қуат көзі