Inquiry
Form loading...

ПДБ серија
РФ напајање серије RHH

РФ напајање серије RHH ослања се на зрелу технологију генерисања РФ-а како би купцима пружило РФ напајање са већом снагом, већом прецизношћу и брзим одзивом. Са могућношћу подешавања фазе, контроле импулса, дигиталног подешавања и других функција. Применљиве области: фотонапонска индустрија, индустрија равних дисплеја, индустрија полупроводника, хемијска индустрија, лабораторија, научна истраживања, производња итд.
Применљиви процеси: хемијско таложење из парне фазе побољшано плазмом (PECVD), плазма нагризање, плазма чишћење, радиофреквентни јонски извор, плазма дифузија, плазма полимеризационо распршивање, реактивно распршивање итд.

01

Кључне карактеристике

  • ● Модели за пола цигле и монтажу у рек
  • ● Усвојите потпуно дигиталну контролу, са практичним и богатим менијем за рад
  • ● Функције подешавања фреквенције, импулса и синхронизације импулса
  • ● Са CEX функцијом синхронизације фазе
  • ● Савршена заштитна функција

Главни параметри

Спецификација модела:

Унос Улазни напон: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Посебне спецификације се могу прилагодити)
Улазна фреквенција: 47~63Hz
Излаз Излазна фреквенција: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Опсег подешавања: ±5%
Излазна снага: 1,5~5 kW
Опсег регулације излазне снаге: 1~100%
Излазна импеданса: 50Ω+j0
Излазни интерфејс: тип N
Излазни режим: континуирани, импулсни
Фреквенција импулса: 100Hz~100kHz
Радни циклус: 5~95%
Индекс учинка Фактор снаге: 0,98
Тачност фреквентне стабилности: ±0,005%
Ефикасност: 75% (при номиналној снази)
Хармоник:
Расуто:
Спољни контролни интерфејс: аналогна количина, комуникација и синхронизација
Режим комуникације: Стандардни RS485 комуникациони интерфејс; Опционо Ether CAT, индустријски Ethernet, итд.
Напомена: производ се стално унапређује и перформансе се стално побољшавају. Овај опис параметра је само за референцу.