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Serie PDB
Alimentazione RF serie RHH

L'alimentazione RF di a serie RHH si basa nantu à una tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un'alimentazione RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida. Cù a pussibilità di impostà a fase, u cuntrollu di l'impulsi, a sintonizazione digitale è altre funzioni. Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di i display à pannellu pianu, industria di i semiconduttori, industria chimica, laburatoriu, ricerca scientifica, fabricazione, ecc.
Prucessi applicabili: deposizione chimica da vapore rinfurzata da plasma (PECVD), incisione a plasma, pulizia a plasma, fonte di ioni a radiofrequenza, diffusione a plasma, sputtering a polimerizzazione a plasma, sputtering reattivu, ecc.

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Caratteristiche principali

  • ● Stili di montaggio à mezu mattoni è à rack
  • ● Aduttà u cuntrollu digitale cumpletu, cù un menu d'operazione convenientu è riccu
  • ● Funzioni di sintonizazione di frequenza, impulsi è sincronizazione di impulsi
  • ● Cù a funzione di sincronizazione di fase CEX
  • ● Funzione di prutezzione perfetta

I parametri principali

Specificazione di u mudellu:

Input Tensione d'entrata: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (E specifiche speciali ponu esse persunalizate)
Frequenza d'entrata: 47~63Hz
Surtita Frequenza di uscita: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Gamma di sintonizazione: ±5%
Putenza di uscita: 1,5 ~ 5 kW
Gamma di regulazione di a putenza di uscita: 1 ~ 100%
Impedenza di uscita: 50Ω+j0
Interfaccia di uscita: tipu N
Modu di surtita: cuntinuu, impulsivu
Frequenza di l'impulsi: 100Hz ~ 100kHz
Ciclu di travagliu: 5~95%
Indice di rendiment Fattore di putenza: 0,98
Precisione di stabilità di frequenza: ± 0,005%
Efficienza: 75% (à putenza nominale)
Armonica:
Vagante:
Interfaccia di cuntrollu esternu: quantità analogica, cumunicazione è sincronizazione
Modu di cumunicazione: Interfaccia di cumunicazione RS485 standard; Ether CAT opzionale, Ethernet industriale, ecc.
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu.