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Serie PDB
Alimentatore RF serie RHH

L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida. È dotato di impostazione di fase, controllo degli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni. Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratori, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica da vapore potenziata al plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.

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Caratteristiche principali

  • ● Stili di montaggio a mezzo mattone e rack
  • ● Adotta il controllo digitale completo, con un menu operativo comodo e ricco
  • ● Funzioni di sintonizzazione della frequenza, impulso e sincronizzazione degli impulsi
  • ● Con funzione di sincronizzazione di fase CEX
  • ● Funzione di protezione perfetta

I parametri principali

Specifiche del modello:

Ingresso Tensione di ingresso: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (le specifiche speciali possono essere personalizzate)
Frequenza di ingresso: 47~63Hz
Produzione Frequenza di uscita: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Gamma di sintonizzazione: ±5%
Potenza di uscita: 1,5~5kW
Intervallo di regolazione della potenza di uscita: 1~100%
Impedenza di uscita: 50Ω+j0
Interfaccia di uscita: tipo N
Modalità di uscita: continua, a impulsi
Frequenza degli impulsi: 100Hz~100kHz
Ciclo di lavoro: 5~95%
Indice di prestazione Fattore di potenza: 0,98
Precisione della stabilità della frequenza: ±0,005%
Efficienza: 75% (alla potenza nominale)
Armonica: ＜-45dBc
Dispersione: ＜-50dBc
Interfaccia di controllo esterna: quantità analogica, comunicazione e sincronizzazione
Modalità di comunicazione: interfaccia di comunicazione standard RS485; opzionale Ether CAT, Ethernet industriale, ecc.
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.