RF/naprašovací zdroj napájania

RF napájacie zdroje série RHH sa spoliehajú na vyspelé technológie generovania RF, aby zákazníkom poskytli RF napájanie s vyšším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou. S možnosťou nastavenia fázy, ovládania impulzov, digitálneho ladenia a ďalších funkcií. Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel plochých displejov, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratóriá, vedecký výskum, výroba atď.
Použiteľné procesy: plazmovo vylepšená chemická depozícia z pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.

Napájací zdroj série RLS využíva stabilný a spoľahlivý výkonový zosilňovač a základný systém riadenia jednosmerného prúdu spoločnosti, vďaka čomu má produkt veľmi stabilný výkon a vysokú spoľahlivosť. Používa čínske a anglické rozhranie displeja, ľahko sa ovláda. Používa sa hlavne vo fotovoltaickom priemysle, priemysle plochých displejov, polovodičovom priemysle, chemickom priemysle, laboratóriách, vedeckom výskume, výrobe atď.

Dá sa prispôsobiť napájaniu RF radom RLS a široko sa používa pri plazmovom leptaní, povlakovaní, plazmovom čistení, plazmovom odgumovaní a iných procesoch. Pri samostatnom použití sa môže používať spolu s RF napájacími zdrojmi iných výrobcov.

Napájací zdroj pre jednosmerný prúd série MSD využíva základný systém riadenia jednosmerného prúdu spoločnosti v kombinácii s vynikajúcou schémou spracovania oblúka, vďaka čomu má produkt veľmi stabilný výkon, vysokú spoľahlivosť, malé poškodenie oblúkom a dobrú opakovateľnosť procesu. Používa čínske a anglické rozhranie displeja, ľahko sa ovláda.