منبع تغذیه RF/اسپاترینگ

منبع تغذیه RF سری RHH با تکیه بر فناوری پیشرفته تولید RF، منبع تغذیه RF با توان بیشتر، دقت بالاتر و پاسخ سریع را در اختیار مشتریان قرار می‌دهد. این منبع تغذیه قابلیت تنظیم فاز، کنترل پالس، تنظیم دیجیتال و سایر عملکردها را دارد. زمینه‌های کاربرد: صنعت فتوولتائیک، صنعت نمایشگرهای تخت، صنعت نیمه‌هادی، صنایع شیمیایی، آزمایشگاه، تحقیقات علمی، تولید و غیره.
فرآیندهای قابل اجرا: رسوب شیمیایی بخار با پلاسما (PECVD)، حکاکی پلاسما، تمیز کردن پلاسما، منبع یون فرکانس رادیویی، انتشار پلاسما، کندوپاش پلیمریزاسیون پلاسما، کندوپاش واکنشی و غیره

منبع تغذیه RF سری RLS از تقویت‌کننده توان پایدار و قابل اعتماد فعلی و سیستم کنترل DC اصلی این شرکت بهره می‌برد، به طوری که محصول عملکرد بسیار پایدار و قابلیت اطمینان بالایی دارد. رابط کاربری نمایشگر چینی و انگلیسی را اتخاذ کرده و کار با آن آسان است. عمدتاً در صنعت فتوولتائیک، صنعت نمایشگرهای تخت، صنعت نیمه‌هادی، صنایع شیمیایی، آزمایشگاه، تحقیقات علمی، تولید و غیره استفاده می‌شود.

این دستگاه می‌تواند با منبع تغذیه RF سری RLS سازگار شود و به طور گسترده در حکاکی پلاسما، پوشش‌دهی، تمیزکاری پلاسما، صمغ‌گیری پلاسما و سایر فرآیندها مورد استفاده قرار می‌گیرد. در صورت استفاده به تنهایی، می‌توان آن را همراه با منبع تغذیه RF سایر تولیدکنندگان استفاده کرد.

منبع تغذیه اسپاترینگ DC سری MSD از سیستم کنترل DC اصلی این شرکت به همراه طرح پردازش قوس عالی بهره می‌برد، به طوری که محصول دارای عملکرد بسیار پایدار، قابلیت اطمینان بالا، آسیب قوس کم و تکرارپذیری خوب فرآیند است. رابط کاربری نمایشگر چینی و انگلیسی را اتخاذ کرده و کار با آن آسان است.