Блок живлення для радіочастотних/розпилювальних пристроїв

Радіочастотні джерела живлення серії RHH базуються на зрілій технології генерації радіочастотних сигналів, що забезпечує клієнтам радіочастотне живлення з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком. Мають можливість налаштування фази, імпульсне керування, цифрове налаштування та інші функції. Застосовувані галузі: фотоелектрична промисловість, виробництво плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторії, наукові дослідження, виробництво тощо.
Застосовувані процеси: плазмохімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне розпилення, реактивне розпилення тощо.

Радіочастотний блок живлення серії RLS використовує стабільний та надійний підсилювач потужності та основну систему керування постійним струмом компанії, завдяки чому продукт має дуже стабільну роботу та високу надійність. Використовує китайський та англійський інтерфейси дисплея, простий в експлуатації. В основному використовується у фотоелектричній промисловості, промисловості плоских дисплеїв, напівпровідниковій промисловості, хімічній промисловості, лабораторіях, наукових дослідженнях, виробництві тощо.

Його можна адаптувати до радіочастотних джерел живлення серії RLS та широко використовувати в плазмовому травленні, нанесенні покриттів, плазмовому очищенні, плазмовому дегумуванні та інших процесах. При окремому використанні його можна використовувати разом із радіочастотними джерелами живлення інших виробників.

Блок живлення постійного струму для напилення серії MSD використовує основну систему керування постійним струмом компанії в поєднанні з чудовою схемою обробки дуги, що забезпечує дуже стабільну роботу, високу надійність, незначне пошкодження дуги та хорошу повторюваність процесу. Використовує китайський та англійський інтерфейс дисплея, простий в експлуатації.