ספק כוח RF/התזה

ספק כוח RF מסדרת RHH מסתמך על טכנולוגיית ייצור RF מתקדמת כדי לספק ללקוחות ספק כוח RF עם הספק רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה. ניתן לכוון פאזה, לשלוט בפולסים, כוונון דיגיטלי ופונקציות אחרות. תחומים רלוונטיים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צגי שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
תהליכים רלוונטיים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), איכול בפלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה בפלזמה, התזה באמצעות פולימריזציה בפלזמה, התזה ריאקטיבית וכו'.

ספק הכוח RF מסדרת RLS מאמץ את מגבר ההספק היציב והאמין הנוכחי ואת מערכת בקרת DC הליבה של החברה, כך שלמוצר יש ביצועים יציבים מאוד ואמינות גבוהה. מאמץ ממשק תצוגה בסינית ובאנגלית, קל לתפעול. משמש בעיקר בתעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צגי השטח, תעשיית המוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.

ניתן להתאים אותו לספק כוח RF מסדרת RLS, והוא נמצא בשימוש נרחב באיכול פלזמה, ציפוי, ניקוי פלזמה, הסרת גומי פלזמה ותהליכים אחרים. כאשר משתמשים בו לבד, ניתן להשתמש בו יחד עם ספקי כוח RF של יצרנים אחרים.

ספק הכוח להקרמה DC מסדרת MSD מאמצ את מערכת בקרת DC הליבה של החברה בשילוב עם סכמת עיבוד קשת מעולה, כך שלמוצר יש ביצועים יציבים מאוד, אמינות מוצר גבוהה, נזק קטן לקשת וחזרה טובה של התהליך. משתמש בממשק תצוגה בסינית ובאנגלית, קל לתפעול.