RF/izsmidzināšanas barošanas avots

RHH sērijas RF barošanas bloks izmanto nobriedušu RF ģenerēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu klientus ar RF barošanas bloku ar lielāku jaudu, augstāku precizitāti un ātru reaģēšanas ātrumu. Ar fāzes iestatīšanu, impulsu vadību, digitālo regulēšanu un citām funkcijām. Pielietojamās jomas: fotoelektriskā rūpniecība, plakano paneļu displeju rūpniecība, pusvadītāju rūpniecība, ķīmiskā rūpniecība, laboratorijas, zinātniskā pētniecība, ražošana utt.
Pielietojamie procesi: plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku uzklāšana (PECVD), plazmas kodināšana, plazmas tīrīšana, radiofrekvences jonu avots, plazmas difūzija, plazmas polimerizācijas izsmidzināšana, reaktīvā izsmidzināšana utt.

RLS sērijas RF barošanas bloks izmanto pašreizējo stabilo un uzticamo jaudas pastiprinātāju un uzņēmuma galveno līdzstrāvas vadības sistēmu, lai nodrošinātu produktam ļoti stabilu veiktspēju un augstu produkta uzticamību. Izmantots ķīniešu un angļu valodas displeja interfeiss, viegli lietojams. Galvenokārt izmanto fotoelektriskajā rūpniecībā, plakano paneļu displeju rūpniecībā, pusvadītāju rūpniecībā, ķīmiskajā rūpniecībā, laboratorijās, zinātniskajā pētniecībā, ražošanā utt.

To var pielāgot RLS sērijas RF barošanas avotiem, un to plaši izmanto plazmas kodināšanā, pārklāšanā, plazmas tīrīšanā, plazmas atdalīšanā no lipīgām vielām un citos procesos. Lietojot atsevišķi, to var lietot kopā ar citu ražotāju RF barošanas avotiem.

MSD sērijas līdzstrāvas izsmidzināšanas barošanas bloks izmanto uzņēmuma galveno līdzstrāvas vadības sistēmu apvienojumā ar izcilu loka apstrādes shēmu, lai produktam būtu ļoti stabila veiktspēja, augsta produkta uzticamība, nelieli loka bojājumi un laba procesa atkārtojamība. Izmantots ķīniešu un angļu valodas displeja interfeiss, viegli lietojams.