티피10
RMA 시리즈 매처

이 제품은 RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치와 호환되며 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세척, 플라즈마 탈검 등 다양한 공정에 널리 사용됩니다. 단독으로 사용할 경우, 다른 제조업체의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수도 있습니다.

주요 특징

기술지수	제어 전압: AC220V±10%
	송전 출력: 0.5~5kW
	주파수: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	매칭 시간: 양 끝단 간
	정상파: ＜1.2
	임피던스 실수부: 5~200Ω
	임피던스 허수 부분: +200~-200j
	RF 출력 전압: 4000V 피크
	RF 출력 전류: 25~40암
	입력 인터페이스: N형
	출력 인터페이스: 구리 막대 또는 L29
참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 성능이 향상됩니다. 본 제품 사양 설명은 참고용으로만 제공됩니다.