TPH10
Ndị Mmekọ Usoro RMA

Enwere ike ime ka ọ dabara na RLS usoro RF power supply, a na-ejikwa ya eme ihe n'ọtụtụ ebe na plasma etching, mkpuchi, nhicha plasma, degumming plasma na usoro ndị ọzọ. Mgbe ejiri ya naanị ya, enwere ike iji ya na RF power supply nke ndị nrụpụta ndị ọzọ.

Isi atụmatụ

● Njikwa dijitalụ zuru oke, izi ezi dị elu na obere oge dakọtara
● Nabata ike ikuku, ntụkwasị obi dị elu na ndụ ogologo oge
● Nhazi dị obere, obere nha, ntinye dị mfe

● Oke nhazi zuru oke, enwere ike ịhazi ya ka ọ dabara na ibu ọ bụla
● Site na ọrụ nhazi aka/akpaka
● Na ọrụ njide na nhazi

● Site na ọrụ nkwukọrịta, enwere ike ijikọ ya n'adabereghị onwe ya na kọmputa nnabata iji gosipụta ọnọdụ ibu n'oge dị adị
● Nhazi mmepụta ahaziri ahazi

Isi paramita

Ndepụta teknụzụ	Voltaji njikwa: AC220V±10%
	Ike nnyefe: 0.5~5kW
	Ugboro: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Oge ndakọrịta: njedebe ruo na njedebe ＜ 5S, setịpụ isi ihe ruo na ebe dakọtara ＜ 0.5 ~ 3S
	Ebili kwụ ọtọ: ＜1.2
	Akụkụ impedance dị adị: 5 ~ 200Ω
	Akụkụ echiche nke impedance: +200~-200j
	Voltaji mmepụta RF: 4000Vpeak
	RF mmepụta ugbu a: 25~40Arms
	Njikọ ntinye: ụdị N
	Njikọ mmepụta: ogwe ọla kọpa ma ọ bụ L29
Rịba ama: ngwaahịa a na-aga n'ihu na-emepụta ihe ọhụrụ, arụmọrụ ya na-agakwa n'ihu na-aka mma. Nkọwa paramita a bụ maka ntụaka naanị.

Ozi ndị ọzọ

Budata

TPH10 Mpempe akwụkwọ data nke otu usoro njikwa ike izugbe
Budata

Laghachi na Ebe Ngwọta Ike

TPH10Ndị Mmekọ Usoro RMA

Isi atụmatụ

Isi paramita

Ozi ndị ọzọ

Budata

TPH10
Ndị Mmekọ Usoro RMA