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TPH10
Combinadores da Série RMA

Pode ser adaptado à série de fontes de alimentação de RF RLS e é amplamente utilizado em processos como gravação a plasma, revestimento, limpeza a plasma, desgomagem a plasma e outros. Quando usado individualmente, pode ser utilizado em conjunto com fontes de alimentação de RF de outros fabricantes.

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Principais características

  • ● Controle totalmente digital, alta precisão de correspondência e tempo de correspondência curto
  • ● Adota capacitor a vácuo, alta confiabilidade e longa vida útil.
  • ● Estrutura compacta, tamanho reduzido, fácil instalação
  • ● Ampla gama de compatibilidade, personalizável para se adequar a qualquer carga
  • ● Com função de emparelhamento manual/automático
  • ● Com função de retenção e pré-ajuste
  • ● Com função de comunicação, pode ser conectado independentemente ao computador host para exibir o status da carga em tempo real.
  • ● Interface de saída personalizável

Os principais parâmetros

Índice técnico Tensão de controle: AC220V±10%
Potência de transmissão: 0,5~5 kW
Frequência: 2 MHz, 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Tempo de correspondência: de ponta a ponta
Onda estacionária:
Impedância (parte real): 5~200Ω
Parte imaginária da impedância: +200~-200j
Tensão de saída de RF: 4000V de pico
Corrente de saída de RF: 25~40 Arms
Interface de entrada: tipo N
Interface de saída: barra de cobre ou L29
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.

Mais informações

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  • Controlador de potência monofásico de uso geral TPH10 - Folha de dados

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