Inquiry
Form loading...

TPH10
RMA-serie Matchers

Het kan worden aangepast aan de RF-voedingen uit de RLS-serie en wordt veel gebruikt bij plasma-etsen, coaten, plasma-reiniging, plasma-ontgommen en andere processen. Het kan, indien afzonderlijk gebruikt, worden gecombineerd met RF-voedingen van andere fabrikanten.

01

Belangrijkste kenmerken

  • ● Volledig digitale besturing, hoge nauwkeurigheid bij het matchen en korte matchtijd
  • ● Gebruik van vacuümcondensatoren, hoge betrouwbaarheid en lange levensduur
  • ● Compacte structuur, klein formaat, eenvoudige installatie
  • ● Ultrabreed assortiment, aanpasbaar aan elke belasting
  • ● Met handmatige/automatische matchingfunctie
  • ● Met vasthoud- en voorinstelfunctie
  • ● Dankzij de communicatiefunctie kan het apparaat onafhankelijk van de hostcomputer worden verbonden om de laadstatus in realtime weer te geven.
  • ● Aanpasbare uitvoerinterface

De belangrijkste parameters

Technische index Stuurspanning: AC220V±10%
Zendvermogen: 0,5~5 kW
Frequentie: 2 MHz, 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Afstemmingstijd: van begin tot eind
Staande golf:
Impedantie reëel deel: 5~200Ω
Imaginair deel van de impedantie: +200~-200j
RF-uitgangsspanning: 4000 Vpiek
RF-uitgangsstroom: 25~40 Arms
Invoerinterface: type N
Uitgangsinterface: koperen staaf of L29
Let op: het product wordt continu vernieuwd en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving dient uitsluitend ter referentie.

Meer informatie

Download

  • TPH10 Algemene eenfasige vermogensregelaar - Datasheet

    65975ba8pbDownload
Terug naar het Power Solutions Center