Inquiry
Form loading...

TPH10
Матчеры серии RMA

Он может быть адаптирован к источникам питания ВЧ серии RLS и широко используется в процессах плазменного травления, нанесения покрытий, плазменной очистки, плазменного удаления клея и других процессах. При автономном использовании может применяться совместно с источниками питания ВЧ других производителей.

01

Основные характеристики

  • ● Полностью цифровое управление, высокая точность сопоставления и короткое время сопоставления
  • ● Использование вакуумного конденсатора обеспечивает высокую надежность и длительный срок службы.
  • ● Компактная конструкция, малый размер, простая установка
  • ● Сверхширокий диапазон совместимости, возможность индивидуальной настройки под любую нагрузку
  • ● С функцией ручного/автоматического сопоставления
  • ● С функцией удержания и предварительной настройки
  • ● Благодаря функции связи, устройство может быть независимо подключено к главному компьютеру для отображения состояния нагрузки в режиме реального времени.
  • ● Настраиваемый интерфейс вывода

Основные параметры

Технический индекс Управляющее напряжение: AC220В±10%
Мощность передачи: 0,5~5 кВт
Частота: 2 МГц, 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
Время сопоставления: от начала до конца
Стоячая волна:
Реальная часть импеданса: 5~200 Ом
Мнимая часть импеданса: +200~-200 Дж
Выходное ВЧ-напряжение: 4000 В (пиковое значение)
Выходной ток ВЧ: 25–40 А·мс
Входной интерфейс: тип N
Выходной интерфейс: медная шина или L29
Примечание: продукт постоянно совершенствуется, и его характеристики постоянно улучшаются. Данное описание параметров приведено только для справки.

Более подробная информация

Скачать

  • Техническое описание однофазного силового контроллера общего назначения TPH10

    65975ba8pbСкачать
Вернуться в Центр решений в области электропитания