Inquiry
Form loading...

TPH10
RMA-sarjan yhteensovittimet

Se voidaan sovittaa RLS-sarjan RF-virtalähteeseen, ja sitä käytetään laajalti plasmaetsauksessa, pinnoituksessa, plasmapuhdistuksessa, plasman limanpoistossa ja muissa prosesseissa. Yksinään käytettynä sitä voidaan käyttää yhdessä muiden valmistajien RF-virtalähteiden kanssa.

01

Tärkeimmät ominaisuudet

  • ● Täysin digitaalinen ohjaus, korkea sovitustarkkuus ja lyhyt sovitusaika
  • ● Hyväksy tyhjiökondensaattori, korkea luotettavuus ja pitkä käyttöikä
  • ● Kompakti rakenne, pieni koko, helppo asentaa
  • ● Erittäin laaja sovitusalue, voidaan räätälöidä sopimaan mihin tahansa kuormaan
  • ● Manuaalisella/automaattisella sovitustoiminnolla
  • ● Pito- ja esiasetustoiminnolla
  • ● Viestintätoiminnon ansiosta se voidaan kytkeä itsenäisesti isäntätietokoneeseen kuorman tilan näyttämiseksi reaaliajassa
  • ● Mukautettava tulostusliittymä

Tärkeimmät parametrit

Tekninen hakemisto Ohjausjännite: AC220V±10%
Lähetysteho: 0,5~5 kW
Taajuus: 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
Vastaavuusaika: päästä päähän < 5S, esiasetettu piste vastaavuuspisteeseen < 0,5 ~ 3S
Seisova aalto:
Impedanssin reaaliosa: 5~200Ω
Impedanssin imaginaarinen osa: +200~-200j
RF-lähtöjännite: 4000 Vhuippu
RF-lähtövirta: 25–40 armeja
Tuloliitäntä: tyyppi N
Lähtöliitäntä: kuparitanko tai L29
Huomautus: Tuotetta kehitetään jatkuvasti ja sen suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrikuvaus on vain viitteellinen.

Lisätietoja

Lataa

  • TPH10 Yleiskäyttöinen yksivaiheinen tehosäädin - Tuotelehti

    65975ba8pbLataa
Takaisin Power Solutions Centeriin