TPH10
RMA-seriens matchere

Den kan tilpasses til RLS-serien af RF-strømforsyninger og anvendes i vid udstrækning til plasmaætsning, belægning, plasmarensning, plasmaafgummering og andre processer. Når den bruges alene, kan den bruges sammen med andre producenters RF-strømforsyninger.

Nøglefunktioner

● Fuld digital kontrol, høj matchningsnøjagtighed og kort matchningstid
● Anvender vakuumkondensator, høj pålidelighed og lang levetid
● Kompakt struktur, lille størrelse, nem installation

● Ultrabredt matchningsområde, kan tilpasses til enhver last
● Med manuel/automatisk matchningsfunktion
● Med hold- og forudindstillingsfunktion

● Med kommunikationsfunktion kan den tilsluttes uafhængigt til værtscomputeren for at vise belastningsstatus i realtid
● Brugerdefinerbar outputgrænseflade

De vigtigste parametre

Teknisk indeks	Styrespænding: AC220V ± 10%
	Sendeeffekt: 0,5~5 kW
	Frekvens: 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Matchingstid: ende til ende
	Stående bølge:
	Impedans reel del: 5~200Ω
	Impedans imaginær del: +200~-200j
	RF-udgangsspænding: 4000Vpeak
	RF-udgangsstrøm: 25~40 Arms
	Inputgrænseflade: type N
	Udgangsgrænseflade: kobberstang eller L29
Bemærk: Produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen forbedres løbende. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.

Mere information

Download

TPH10 Universal enfaset effektregulator - Datablad
Download

Tilbage til Power Solutions Center

TPH10RMA-seriens matchere

Nøglefunktioner

De vigtigste parametre

Mere information

Download

TPH10
RMA-seriens matchere