PDBシリーズ
TPM5シリーズ電源コントローラ

TPM5シリーズ電力コントローラはモジュール設計を採用し、最大6つの回路を内蔵しています。主に拡散炉、PECVD、エピタキシー炉などに使用されます。

主な特徴

入力	主回路電源：AC230V、400V、50/60Hz	制御電源：DC24V、10W、50/60Hz
入力	ファン電源：AC230V、10W、50/60Hz
出力	出力電流：120A、150A、200A（特別要求に応じてカスタマイズ可能）
パフォーマンス指標	制御精度：1％
制御特性	動作モード：ゼロクロス固定周期	制御信号：4mA～20mA
制御特性	負荷特性: 抵抗負荷
インターフェースの説明	アナログ入力: 1~6方向 DC4mA~20mA	スイッチ入力：1方向ノーマルクローズ接点（過熱信号）
注：本製品は継続的に革新を続けており、パフォーマンスも向上し続けています。このパラメータの説明は参考用です。