MSD rige
Sputtering Power Supply
01
- ● Rack ynstallaasje
- ● Fast arc antwurd, antwurd tiid
- ● Bottom enerzjy opslach,
- ● Kompakte ynstallaasjestruktuer, 3U standert chassis
- ● Sineesk / Ingelsk display ynterface, maklik te betsjinjen
- ● Precise kontrôle
- ● Breed oanbod fan útfier
- ● Perfect beskerming funksje
Ynfier
- Ynfierspanning: 3AC380V±10%
- Krêft: 20 kW, 30 kW
- Input macht frekwinsje: 50Hz / 60Hz
Utfier
- Max. output voltage: 800V
- Max. útfierstroom: 50A, 75A
- Utfierstromrimpel: ≤3% rms
- Output Voltage Ripple: ≤2% rms
Technyske yndeks
- Ignition voltage: 1000V / 1200V opsjoneel
- Konverzje-effisjinsje: 95%
- Arc off tiid: <100ns
- Kommunikaasje-ynterface: Standert RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet en EtherCAT binne opsjoneel)
- Ofmjittings (H * W * D) mm: 132 * 482 * 560, 176 * 482 * 700
- Cooling modus: lucht cooling
Opmerking: it produkt bliuwt ynnovearje en de prestaasjes bliuwt ferbetterje. Dizze parameterbeskriuwing is allinich foar referinsje.
-
MSD Series Sputtering Power Supply-Gegevensblêd
Download