Serie MSD
Alimentazione di sputtering
01
- ● Installazione di rack
- ● Risposta rapida di l'arcu, tempu di risposta
- ● Accumulazione d'energia in fondu,
- ● Struttura d'installazione compatta, chassis standard 3U
- ● Interfaccia di visualizazione cinese/inglese, faciule da aduprà
- ● Cuntrollu precisu
- ● Vasta gamma di pruduzzione
- ● Funzione di prutezzione perfetta
Input
- Tensione d'entrata: 3AC380V±10%
- Putenza: 20 kW, 30 kW
- Frequenza di putenza d'entrata: 50Hz/60Hz
Surtita
- Tensione di uscita massima: 800V
- Corrente di uscita massima: 50A, 75A
- Ondulazione di corrente di uscita: ≤3% rms
- Ondulazione di tensione di uscita: ≤2% rms
Indice tecnicu
- Tensione d'accensione: 1000V / 1200V opzionale
- Efficienza di cunversione: 95%
- Tempu di spegnimentu di l'arcu:
- Interfaccia di cumunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet è EtherCAT sò opzionali)
- Dimensioni (A*L*P) mm: 132*482*560,176*482*700
- Modu di raffreddamentu: raffreddamentu à aria
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu.
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Scheda tecnica di l'alimentatore per sputtering serie MSD
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