MSD-serien
Sputtering strömförsörjning
01
- ● Rackinstallation
- ● Snabb bågsvar, svarstid
- ● Bottenenergilagring,
- ● Kompakt installationsstruktur, 3U standardchassi
- ● Kinesiskt/engelsk skärmgränssnitt, lätt att använda
- ● Exakt kontroll
- ● Brett utbud av utgång
- ● Perfekt skyddsfunktion
Inmatning
- Inspänning: 3AC380V±10%
- Effekt: 20kW, 30kW
- Ineffektfrekvens: 50Hz/60Hz
Produktion
- Max. utspänning: 800V
- Max. utström: 50A, 75A
- Utströmsrippel: ≤3 % rms
- Utspänningsrippel: ≤2 % rms
Tekniskt index
- Tändspänning: 1000V / 1200V valfritt
- Konverteringseffektivitet: 95 %
- Avstängningstid: <100ns
- Kommunikationsgränssnitt: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet och EtherCAT är tillval)
- Mått(H*B*D)mm: 132*482*560,176*482*700
- Kylläge: luftkylning
Obs: produkten fortsätter att förnya sig och prestandan fortsätter att förbättras. Denna parameterbeskrivning är endast för referens.
-
MSD Series Sputtering Power Supply-Datablad
Ladda ner