MSD-sarja
Sputterointivirtalähde
01
- ● Telineen asennus
- ● Nopea kaarivaste, vasteaika
- ● Energian pohjavarasto,
- ● Kompakti asennusrakenne, 3U vakiorunko
- ● Kiinalainen/englanninkielinen näyttöliittymä, helppokäyttöinen
- ● Tarkka ohjaus
- ● Laaja tuotantoalue
- ● Täydellinen suojatoiminto
Syöte
- Tulojännite: 3AC380V±10%
- Teho: 20 kW, 30 kW
- Tulotehotaajuus: 50Hz/60Hz
Lähtö
- Max. lähtöjännite: 800V
- Max. Lähtövirta: 50A、75A
- Lähtövirran aaltoilu: ≤3 % rms
- Lähtöjännitteen aaltoilu: ≤2 % rms
Tekninen indeksi
- Sytytysjännite: 1000V / 1200V valinnainen
- Muunnostehokkuus: 95 %
- Kaaren poistumisaika: <100ns
- Tiedonsiirtoliitäntä: Standardi RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet ja EtherCAT ovat valinnaisia)
- Mitat (K*L*S)mm: 132*482*560,176*482*700
- Jäähdytystila: ilmajäähdytys
Huomautus: tuote innovoi jatkuvasti ja suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrin kuvaus on vain viitteellinen.
-
MSD-sarjan sputterointivirtalähde-tietolehti
ladata