Mikroaaltouunin virtalähde

Mikroaaltokytkentävirtalähde on uudentyyppinen mikroaaltovirtalähde, joka perustuu IGBT-korkeataajuusinvertteritekniikkaan. Se yhdistää anodin korkeajännitevirtalähteen, hehkulangan virtalähteen ja magneettikenttävirtalähteen (paitsi 3 kW:n mikroaaltovirtalähteessä). Aaltomagnetroni tarjoaa työolosuhteet. Tätä tuotetta käytetään MPCVD:ssä, mikroaaltoplasmasyövytyksessä, mikroaaltoplasmaliimanpoistossa ja muilla aloilla.

Tärkeimmät ominaisuudet

● Korkean taajuuden invertteritekniikka, suuri tehotiheys, pieni koko ja korkea luotettavuus
● Nopea reagointikyky, tarkka hallinta ja hyvä vakaus
● Tuotteessa on vakiojännitteen, vakiotehon ja vakiovirran säätötilat

● Kaikissa ulkoisissa liittimissä on pikaliittimet ja antennipistokkeet, jotka helpottavat asennusta ja huoltoa
● Joustava filamenttivirtalähteen kokoonpano, joka voi olla sisäänrakennettu tai ulkoinen
● Nopea syttymisen havaitseminen ja suojaus

● Monipuoliset ja nopeat tunnistus- ja suojaustoiminnot
● RS485-standardin mukainen tietoliikenneliitäntä
● Käytä vakiokoteloita (3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW), helppo asentaa

Tärkeimmät parametrit

	1 kW mikroaaltouunin virtalähde	3 kW mikroaaltouunin virtalähde	5 kW mikroaaltouunin virtalähde	10 kW mikroaaltouunin virtalähde	15 kW mikroaaltouunin virtalähde	30 kW:n mikroaaltouunin virtalähde	75 kW:n mikroaaltouunin virtalähde	100 kW:n mikroaaltouunin virtalähde
Anodin nimellisjännite ja -virta	4,75 kV / 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10kV1600mA	12,5 kV 1800 mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Hehkulangan nimellisjännite ja -virta	DC3.5V10A	DC6V25A (sisäänrakennettu)	DC12V40A (ulkoinen)		DC15V50A (ulkoinen)	DC15V50A (ulkoinen)	AC15V110A (ulkoinen)	AC15V120A
Magneettikentän nimellisjännite ja -virta	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Huomautus: Tuotetta kehitetään jatkuvasti ja sen suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrikuvaus on vain viitteellinen.