Magnetronvoeding

De schakelende magnetronvoeding is een nieuw type magnetronvoeding gebaseerd op IGBT-hoogfrequentomvormertechnologie. Deze voeding integreert de hoogspanningsvoeding voor de anode, de gloeidraadvoeding en de magnetische veldvoeding (met uitzondering van de 3 kW magnetronvoeding). De magnetron zorgt voor de juiste werkingsomstandigheden. Dit product wordt gebruikt in MPCVD, microgolfplasma-etsen, microgolfplasma-ontgommen en andere toepassingen.

Belangrijkste kenmerken

● Hoogfrequente invertertechnologie, hoge vermogensdichtheid, compact formaat en hoge betrouwbaarheid
● Snelle respons, nauwkeurige bediening en goede stabiliteit
● Het product beschikt over regelmodi voor constante spanning, constant vermogen en constante stroom.

● Alle externe connectoren zijn voorzien van snelkoppelingen en antennestekkers, wat de installatie en het onderhoud vergemakkelijkt.
● Flexibele configuratie van de gloeidraadvoeding, die ingebouwd of extern kan zijn.
● Snelle ontstekingsdetectie en -beveiliging

● Uitgebreide en snelle detectie- en beveiligingsfuncties
● RS485 standaard communicatie-interface
● Gebruik standaard chassis (3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW), eenvoudig te installeren

De belangrijkste parameters

	1 kW magnetronvoeding	3 kW magnetronvoeding	5 kW magnetronvoeding	10 kW magnetronvoeding	15 kW magnetronvoeding	30 kW magnetronvoeding	75 kW magnetronvoeding	100 kW magnetronvoeding
Nominale spanning en stroom van de anode	4,75 kV 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10kV1600mA	12,5 kV 1800 mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Nominale spanning en stroomsterkte van de gloeidraad	DC 3,5V 10A	DC6V25A (ingebouwd)	DC12V40A (extern)		DC15V50A (extern)	DC15V50A (extern)	AC15V110A (extern)	AC15V120A
Nominale spanning en stroomsterkte van het magnetische veld	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Let op: het product wordt continu vernieuwd en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving dient uitsluitend ter referentie.