Mikrovågsugnsströmförsörjning

Mikrovågsväxlande nätaggregat är en ny typ av mikrovågsströmförsörjning baserad på IGBT-högfrekvensomriktarteknik. Den integrerar anodhögspänningsströmförsörjning, glödtrådsströmförsörjning och magnetfältsströmförsörjning (förutom 3 kW mikrovågsströmförsörjning). Vågmagnetronen ger arbetsförhållanden. Denna produkt används inom MPCVD, mikrovågsplasmaetsning, mikrovågsplasmadegumming och andra områden.

Viktiga funktioner

● Högfrekvent växelriktarteknik, hög effekttäthet, liten storlek och hög tillförlitlighet
● Snabb respons, exakt kontroll och god stabilitet
● Produkten har styrlägen för konstant spänning, konstant effekt och konstant ström

● Alla externa kontakter har snabbkopplingar och antennpluggar, vilket är praktiskt för installation och underhåll
● Flexibel konfiguration av filamentströmförsörjning, som kan vara inbyggd eller extern
● Snabb antändningsdetektering och skydd

● Avancerade och snabba detekterings- och skyddsfunktioner
● RS485 standardkommunikationsgränssnitt
● Använd standardchassi (3U: 3 kW, 6 kW, 6U: 10 kW, 15 kW, 25 kW), enkel att installera

De viktigaste parametrarna

	1 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	3 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	5 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	10 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	15 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	30 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	75 kW mikrovågsugnsströmförsörjning	100 kW mikrovågsugnsströmförsörjning
Anodens märkspänning och ström	4,75 kV 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10kV1600mA	12,5 kV 1800 mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Märkspänning och ström för glödtråd	DC3.5V10A	DC6V25A (inbyggd)	DC12V40A (Extern)		DC15V50A (Extern)	DC15V50A (Extern)	AC15V110A (Extern)	AC15V120A
Märkspänning och ström för magnetfältet	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Obs: Produkten fortsätter att förnya sig och prestandan fortsätter att förbättras. Denna parameterbeskrivning är endast för referens.