Alimentazione a microonde

L'alimentatore switching a microonde è un nuovo tipo di alimentatore a microonde basato sulla tecnologia degli inverter ad alta frequenza IGBT. Integra un alimentatore ad alta tensione per l'anodo, un alimentatore per il filamento e un alimentatore per il campo magnetico (ad eccezione dell'alimentatore a microonde da 3 kW). Il magnetron a onda fornisce le condizioni di lavoro. Questo prodotto è utilizzato in MPCVD, incisione al plasma a microonde, sgommatura al plasma a microonde e altri campi.

Caratteristiche principali

● Tecnologia inverter ad alta frequenza, elevata densità di potenza, dimensioni ridotte e alta affidabilità
● Risposta rapida, controllo preciso e buona stabilità
● Il prodotto ha modalità di controllo a tensione costante, potenza costante e corrente costante

● Tutti i connettori esterni adottano terminali a innesto rapido e spine aeree, che sono convenienti per l'installazione e la manutenzione
● Configurazione flessibile dell'alimentatore del filamento, che può essere integrato o esterno
● Rilevamento e protezione rapidi dell'accensione

● Funzioni di rilevamento e protezione ricche e veloci
● Interfaccia di comunicazione standard RS485
● Adotta chassis standard (3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW), facile da installare

I parametri principali

	Alimentatore per microonde da 1 kW	Alimentatore per microonde da 3 kW	Alimentatore per microonde da 5 kW	Alimentatore per microonde da 10 kW	Alimentatore per microonde da 15 kW	Alimentatore per microonde da 30 kW	Alimentazione a microonde da 75 kW	Alimentatore per microonde da 100 kW
Tensione e corrente nominali dell'anodo	4,75 kV 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10kV1600mA	12,5 kV 1800 mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Tensione e corrente nominali del filamento	CC3,5V10A	DC6V25A (integrato)	DC12V40A (esterno)		DC15V50A (esterno)	DC15V50A (esterno)	AC15V110A (esterno)	AC15V120A
Tensione e corrente nominali del campo magnetico	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.