マイクロ波電源

マイクロ波スイッチング電源は、IGBT高周波インバータ技術をベースとした新型マイクロ波電源です。陽極高圧電源、フィラメント電源、磁場電源（3kWマイクロ波電源を除く）を統合し、波動マグネトロンが動作条件を提供します。本製品は、MPCVD、マイクロ波プラズマエッチング、マイクロ波プラズマ脱ガムなどの分野で使用されています。

主な特徴

●高周波インバータ技術、高電力密度、小型、高信頼性
● 高速応答、正確な制御、優れた安定性
● 本製品は定電圧、定電力、定電流の制御モードを備えています。

●すべての外部コネクタはクイックプラグ端子とアンテナプラグを採用しており、設置とメンテナンスに便利です。
● フィラメント電源は内蔵または外付けの柔軟な構成が可能
● 迅速な点火検知と保護

● 豊富で高速な検出および保護機能
● RS485標準通信インターフェース
● 標準シャーシ（3U：3kW、6kW、6U：10kW、15kW、25kW）を採用し、設置が簡単

主なパラメータ

	1kWマイクロ波電源	3kWマイクロ波電源	5kWマイクロ波電源	10kWマイクロ波電源	15kWマイクロ波電源	30kWマイクロ波電源	75kWマイクロ波電源	100kWマイクロ波電源
陽極の定格電圧と電流	4.75kV370mA	5.5kV1000mA	7.2kV1300mA		10kV1600mA	12.5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
フィラメントの定格電圧と電流	DC3.5V10A	DC6V25A（内蔵）	DC12V40A(外付け)		DC15V50A(外部)	DC15V50A(外部)	AC15V110A(外部)	AC15V120A
磁場の定格電圧と電流	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
注：本製品は継続的に革新を続けており、パフォーマンスも向上し続けています。このパラメータの説明は参考用です。