Alimentation micro-ondes

L'alimentation à découpage pour micro-ondes est un nouveau type d'alimentation basé sur la technologie des onduleurs haute fréquence IGBT. Elle intègre l'alimentation haute tension de l'anode, l'alimentation du filament et l'alimentation du champ magnétique (sauf pour l'alimentation micro-ondes de 3 kW). Le magnétron à onde assure le fonctionnement. Ce produit est utilisé dans le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (MPCVD), la gravure plasma micro-ondes, le dégommage plasma micro-ondes et d'autres domaines.

Caractéristiques principales

● Technologie d'onduleur haute fréquence, densité de puissance élevée, taille réduite et grande fiabilité
● Réponse rapide, contrôle précis et bonne stabilité
● Le produit dispose de modes de contrôle de tension constante, de puissance constante et de courant constant.

● Tous les connecteurs externes sont équipés de bornes à connexion rapide et de fiches aériennes, ce qui facilite l'installation et la maintenance.
● Configuration flexible de l'alimentation du filament, qui peut être intégrée ou externe.
● Détection et protection contre l'inflammation rapide

● Fonctions de détection et de protection riches et rapides
● Interface de communication standard RS485
● Châssis standard (3U : 3 kW, 6 kW ; 6U : 10 kW, 15 kW, 25 kW), installation facile

Les principaux paramètres

	Alimentation micro-ondes 1 kW	Alimentation micro-ondes 3 kW	Alimentation micro-ondes 5 kW	Alimentation micro-ondes 10 kW	Alimentation micro-ondes 15 kW	Alimentation micro-ondes 30 kW	Alimentation micro-ondes 75 kW	Alimentation micro-ondes 100 kW
Tension et courant nominaux de l'anode	4,75 kV 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10 kV 1600 mA	12,5 kV 1800 mA	13 kV 3000 mA	18 kV 4500 mA
Tension et courant nominaux du filament	3,5 V CC 10 A	DC6V25A (intégré)	DC12V40A (Externe)		DC15V50A (Externe)	DC15V50A (Externe)	AC15V110A (Externe)	AC15V120A
Tension et courant nominaux du champ magnétique	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Remarque : ce produit continue d’innover et ses performances de s’améliorer. Cette description des paramètres est donnée à titre indicatif uniquement.