Sursă de alimentare pentru microunde

Sursa de alimentare în comutație pentru microunde este un nou tip de sursă de alimentare pentru microunde bazată pe tehnologia invertorului de înaltă frecvență IGBT. Integrează o sursă de alimentare de înaltă tensiune pentru anod, o sursă de alimentare cu filament și o sursă de alimentare cu câmp magnetic (cu excepția sursei de alimentare pentru microunde de 3 kW). Magnetronul cu undă asigură condițiile de lucru. Acest produs este utilizat în MPCVD, gravare cu plasmă cu microunde, degumare cu plasmă cu microunde și alte domenii.

Caracteristici cheie

● Tehnologie cu invertor de înaltă frecvență, densitate mare de putere, dimensiuni reduse și fiabilitate ridicată
● Răspuns rapid, control precis și stabilitate bună
● Produsul are moduri de control la tensiune constantă, putere constantă și curent constant

● Toți conectorii externi adoptă terminale cu conectare rapidă și mufe de antenă, care sunt convenabile pentru instalare și întreținere
● Configurație flexibilă a sursei de alimentare cu filament, care poate fi încorporată sau externă
● Detectare și protecție rapidă a aprinderii

● Funcții bogate și rapide de detectare și protecție
● Interfață de comunicare standard RS485
● Adoptă șasiu standard (3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW), ușor de instalat

Parametrii principali

	Sursă de alimentare pentru microunde de 1 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 3 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 5 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 10 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 15 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 30 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 75 kW	Sursă de alimentare pentru microunde de 100 kW
Tensiunea și curentul nominale ale anodului	4,75 kV 370 mA	5,5 kV 1000 mA	7,2 kV 1300 mA		10kV 1600mA	12,5 kV 1800 mA	13kV 3000mA	18kV 4500mA
Tensiunea și curentul nominale ale filamentului	DC3.5V10A	DC6V25A (încorporat)	DC12V40A (extern)		DC15V50A (extern)	DC15V50A (extern)	AC15V110A (extern)	AC15V120A
Tensiunea și curentul nominale ale câmpului magnetic	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Notă: produsul continuă să se inoveze, iar performanța continuă să se îmbunătățească. Această descriere a parametrilor este doar cu titlu de referință.