Fonte de alimentação de micro-ondas

A fonte de alimentação chaveada por micro-ondas é um novo tipo de fonte de alimentação de micro-ondas baseada na tecnologia de inversor de alta frequência IGBT. Ela integra a alimentação de alta tensão do ânodo, a alimentação do filamento e a alimentação do campo magnético (exceto na fonte de alimentação de micro-ondas de 3 kW). O magnetron de onda fornece as condições de operação. Este produto é utilizado em MPCVD, gravação a plasma por micro-ondas, desengorduração a plasma por micro-ondas e outras aplicações.

Principais características

● Tecnologia de inversor de alta frequência, alta densidade de potência, tamanho reduzido e alta confiabilidade
● Resposta rápida, controle preciso e boa estabilidade
● O produto possui modos de controle de tensão constante, potência constante e corrente constante.

● Todos os conectores externos utilizam terminais de encaixe rápido e plugues aéreos, o que facilita a instalação e a manutenção.
● Configuração flexível da fonte de alimentação do filamento, que pode ser integrada ou externa.
● Detecção e proteção rápidas contra ignição

● Funções de detecção e proteção abrangentes e rápidas
● Interface de comunicação padrão RS485
● Adota chassis padrão (3U: 3kW, 6kW; 6U: 10kW, 15kW, 25kW), fácil de instalar.

Os principais parâmetros

	Fonte de alimentação de micro-ondas de 1 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 3 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 5 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 10 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 15 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 30 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 75 kW	Fonte de alimentação de micro-ondas de 100 kW
Tensão e corrente nominais do ânodo	4,75kV370mA	5,5kV 1000mA	7,2kV 1300mA		10kV 1600mA	12,5kV 1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
Tensão e corrente nominais do filamento	DC3.5V10A	DC6V25A (embutido)	DC12V40A (Externo)		DC15V50A (Externo)	DC15V50A (Externo)	AC15V110A (Externo)	AC15V120A
Tensão e corrente nominais do campo magnético	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.