MSB-reeks
Mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer

Die MSB-reeks maak staat op sy uitstekende golfvormmodulasietegnologie om GS, GS-puls, tweerigting-vierkantgolf, tweerigting-trapeziumgolf en ander golfvorms uit te voer. Die produk het verstelbare uitsetgolfvorm, kiesbare uitsetfrekwensie, verstelbare werksiklus en presiese kragbeheer. Sowel as lae-energieberging en vinnige boogrespons. Verskaf gerieflike en presiese beheer vir die bedekkingsproses. Die produkte word hoofsaaklik gebruik in verskeie dunfilmvervaardigingsprosesse, sonselbedryf en vakuumbedekkingsbedryf; toepassingsprosesse: magnetron-sputterproses, dubbelteiken-sputtering en buisvormige PECVD.

Belangrike kenmerke

● Die kombinasie van volledig sagte skakeltegnologie en derdegenerasie halfgeleier SiC as kragtoestelle lei tot uitstekende doeltreffendheid
● Hoëspoedsensor versamel VI, FPGA vinnige verwerking, boogresponstyd

● Aanvaarding van veelvuldige kruisende PFC-tegnologie, met 'n arbeidsfaktor groter as 0.95
● Keuse van verskeie boogopsporingsmetodes, hoë betroubaarheid van boogblusidentifikasie

● Die uitvoermodusse is uiteenlopend, en deurlopende en intermitterende modusse kan gekies word
● Beheermetode UI.W kiesbaar

Die hoofparameters

Invoer

Insetspanning 3AC400V, 50/60Hz
Kragfaktor ≥0.9
Omskakelingsdoeltreffendheid 94%

Uitset

Uitsetspanning 600v, 800V
Uitsetstroom 50A—75A
Kragvlak 30 kW, 20 kW * 2,25 kW * 2,30 kW * 2
Invoerkanale 2 kanale
Frekwensie 40kHz, 40~200kHz

Prestasie-indeks

Uitsetstroomrimpeling 2% rms
Aanpassingsakkuraatheid ±0.5%
Boogresponstyd
Grootte 4U
Kommunikasie
Ondersteun analoog en RS-485 kommunikasie (opsioneel Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Let wel: die produk hou aan om te innoveer en die werkverrigting verbeter steeds. Hierdie parameterbeskrywing is slegs vir verwysing.

Meer inligting

Laai af

MSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer-datablad
Laai af

Terug na Kragoplossingsentrum

MSB-reeksMediumfrekwensie-sputterkragtoevoer