Serie MSB
Fuente de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media

La serie MSB se basa en su excelente tecnología de modulación de forma de onda para generar CC, pulsos de CC, ondas cuadradas bidireccionales, ondas trapezoidales bidireccionales y otras formas de onda. El producto cuenta con forma de onda de salida ajustable, frecuencia de salida seleccionable, ciclo de trabajo ajustable y control preciso de potencia. Además, ofrece un bajo almacenamiento de energía y una rápida respuesta al arco. Proporciona un control práctico y preciso para el proceso de recubrimiento. Los productos se utilizan principalmente en diversos procesos de fabricación de películas delgadas, la industria de células solares y la industria del recubrimiento al vacío; sus aplicaciones incluyen: pulverización catódica con magnetrón, pulverización catódica de doble objetivo y PECVD tubular.

Características principales

● La combinación de tecnología de conmutación totalmente suave y semiconductores de SiC de tercera generación como dispositivos de potencia da como resultado una excelente eficiencia
● El sensor de alta velocidad recopila VI, procesamiento rápido FPGA, tiempo de respuesta de arco

● Adopción de tecnología PFC de intersección múltiple, con un factor de potencia superior a 0,95
● Selección de múltiples métodos de detección de arco, alta confiabilidad en la identificación de extinción de arco

● Los modos de salida son diversos y se pueden seleccionar modos continuos e intermitentes.
● Método de control UI.W seleccionable

Los parámetros principales

Aporte

Voltaje de entrada 3AC400V,50/60Hz
Factor de potencia ≥0,9
Eficiencia de conversión 94%

Producción

Voltaje de salida 600v,800V
Corriente de salida 50A—75A
Nivel de potencia 30kW, 20kW*2, 25kW*2, 30kW*2
Canales de entrada 2 canales
Frecuencia 40 kHz, 40~200 kHz

Índice de rendimiento

Ondulación de corriente de salida 2% rms
Precisión de ajuste ±0,5%
Tiempo de respuesta del arco
Talla 4U
Comunicación
Admite comunicación analógica y RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT opcionales)

Nota: El producto se innova continuamente y su rendimiento mejora constantemente. Esta descripción de parámetros es solo de referencia.

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