MSB serían
Aflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering

MSB serían byggir á framúrskarandi bylgjuformsmótunartækni sinni til að framleiða jafnstraumsbylgjur, jafnstraumspúlsbylgjur, tvíátta ferningbylgjur, tvíátta trapisubylgjur og aðrar bylgjur. Varan hefur stillanlega úttaksbylgjuform, valhæfa úttakstíðni, stillanlegt vinnuhlutfall og nákvæma aflstýringu. Auk þess að geyma lítið orkusparnað og bregðast hratt við boga. Veitir þægilega og nákvæma stjórnun á húðunarferlinu. Vörurnar eru aðallega notaðar í ýmsum þunnfilmuframleiðsluferlum, sólarselluiðnaði og lofttæmishúðunariðnaði; notkunarferli: segulspúttunarferli, tvíþætt skotmarksspúttunarferli og rörlaga PECVD.

Lykilatriði

● Samsetning af fullkomlega mjúkri rofatækni og þriðju kynslóðar hálfleiðara SiC sem aflgjafa leiðir til framúrskarandi skilvirkni
● Hraðskynjari safnar VI, FPGA hröð vinnsla, bogaviðbragðstími

● Að taka upp marghliða PFC tækni, með aflstuðli meiri en 0,95
● Val á mörgum aðferðum til að greina boga, mikil áreiðanleiki við að greina slökkviefni boga

● Úttaksstillingarnar eru fjölbreyttar og hægt er að velja samfellda og slitrótt stillingu
● Stjórnunaraðferð UI.W valkvæð

Helstu breyturnar

Inntak

Inntaksspenna 3AC400V, 50/60Hz
Aflstuðull ≥0,9
Umbreytingarhagkvæmni 94%

Úttak

Útgangsspenna 600v, 800V
Útgangsstraumur 50A—75A
Aflstig 30 kW, 20 kW * 2,25 kW * 2,30 kW * 2
Inntaksrásir 2 rásir
Tíðni 40kHz, 40~200kHz

Árangursvísitala

Útgangsstraumsbylgja 2% rms
Nákvæmni stillingar ±0,5%
Svörunartími boga
Stærð 4U
Samskipti
Styður hliðræna og RS-485 samskipti (valfrjálst Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Athugið: Varan heldur áfram að þróast og afköstin halda áfram að batna. Þessi lýsing á breytum er eingöngu til viðmiðunar.

Meiri upplýsingar

Sækja

MSB serían aflgjafi fyrir meðaltíðni sputtering - gagnablað
Sækja

Til baka í Power Solutions Center

MSB seríanAflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering