Serie MSB
Fonte de alimentación por pulverización catódica de frecuencia media

A serie MSB baséase na súa excelente tecnoloxía de modulación de forma de onda para emitir CC, pulsos de CC, onda cadrada bidireccional, onda trapezoidal bidireccional e outras formas de onda. O produto ten unha forma de onda de saída axustable, unha frecuencia de saída seleccionable, un ciclo de traballo axustable e un control de potencia preciso. Así como un almacenamento de baixa enerxía e unha resposta de arco rápida. Proporciona un control cómodo e preciso para o proceso de revestimento. Os produtos úsanse principalmente en varios procesos de fabricación de películas finas, na industria das células solares e na industria do revestimento ao baleiro; procesos de aplicación: proceso de pulverización catódica con magnetrón, pulverización catódica con dobre obxectivo e PECVD tubular.

Características principais

● A combinación da tecnoloxía de conmutación totalmente suave e o SiC de semicondutores de terceira xeración como dispositivos de alimentación resulta nunha excelente eficiencia
● Sensor de alta velocidade que recolle VI, procesamento rápido de FPGA, tempo de resposta de arco

● Adoptando tecnoloxía PFC de intersección múltiple, cun factor de potencia superior a 0,95
● Selección de múltiples métodos de detección de arco, alta fiabilidade da identificación da extinción do arco

● Os modos de saída son diversos e pódense seleccionar os modos continuo e intermitente
● Método de control seleccionable por UI.W

Os principais parámetros

Entrada

Tensión de entrada 3CA 400V, 50/60Hz
Factor de potencia ≥0,9
Eficiencia de conversión 94%

Saída

Tensión de saída 600 V, 800 V
Corrente de saída 50A—75A
Nivel de potencia 30 kW, 20 kW*2, 25 kW*2, 30 kW*2
Canles de entrada 2 canles
Frecuencia 40 kHz, 40 ~ 200 kHz

Índice de rendemento

Ondulación da corrente de saída 2 % rms
Precisión de axuste ±0,5%
Tempo de resposta do arco
Tamaño 4U
Comunicación
Compatibilidade con comunicación analóxica e RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT opcionais)

Nota: o produto continúa a innovar e o rendemento continúa a mellorar. Esta descrición de parámetros é só para referencia.

Máis información

Descargar

Fonte de alimentación para pulverización catódica de media frecuencia serie MSB: ficha técnica
Descargar

Volver ao Centro de solucións de enerxía

Serie MSBFonte de alimentación por pulverización catódica de frecuencia media