Řada MSB
Středofrekvenční naprašovací zdroj

Řada MSB se spoléhá na svou vynikající technologii modulace průběhů pro výstup stejnosměrného proudu, stejnosměrného pulzního proudu, obousměrného obdélníkového proudu, obousměrného lichoběžníkového proudu a dalších průběhů. Produkt má nastavitelný výstupní průběh, volitelnou výstupní frekvenci, nastavitelný pracovní cyklus a přesné řízení výkonu. Kromě toho má nízkou spotřebu energie a rychlou odezvu oblouku. Poskytuje pohodlné a přesné řízení procesu povlakování. Produkty se používají hlavně v různých procesech výroby tenkých vrstev, v průmyslu solárních článků a vakuovém povlakování; aplikační procesy: magnetronové naprašování, naprašování dvojitých terčů a tubulární PECVD.

Klíčové vlastnosti

● Kombinace technologie plně měkkého spínání a polovodičového SiC třetí generace jako výkonových součástek vede k vynikající účinnosti
● Vysokorychlostní senzor shromažďuje VI, rychlé zpracování FPGA, doba odezvy oblouku

● Použití technologie vícenásobného protínajícího se PFC s účiníkem větším než 0,95
● Výběr z více metod detekce oblouku, vysoká spolehlivost identifikace hašení oblouku

● Výstupní režimy jsou rozmanité a lze zvolit nepřetržitý a přerušovaný režim
● Volitelná metoda ovládání UI.W

Hlavní parametry

Vstup

Vstupní napětí 3AC 400V, 50/60Hz
Účiník ≥0,9
Účinnost konverze 94 %

Výstup

Výstupní napětí 600 V, 800 V
Výstupní proud 50A—75A
Úroveň výkonu 30 kW, 20 kW*2, 25 kW*2, 30 kW*2
Vstupní kanály 2 kanály
Frekvence 40 kHz, 40~200 kHz

Index výkonnosti

Zvlnění výstupního proudu 2 % efektivní hodnoty
Přesnost nastavení ±0,5 %
Doba odezvy oblouku
Velikost 4U
Sdělení
Podpora analogové a RS-485 komunikace (volitelně Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Poznámka: Produkt se neustále vyvíjí a jeho výkon se neustále zlepšuje. Popis tohoto parametru slouží pouze pro informaci.

Více informací

Stáhnout

Napájecí zdroj pro středofrekvenční naprašování řady MSB - datový list
Stáhnout

Zpět do Centra energetických řešení

Řada MSBStředofrekvenční naprašovací zdroj