Inquiry
Form loading...

ซีรีส์ MSB
แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ความถี่ปานกลาง

ซีรี่ส์ MSB อาศัยเทคโนโลยีการปรับรูปคลื่นที่ยอดเยี่ยมในการสร้างสัญญาณ DC, พัลส์ DC, คลื่นสี่เหลี่ยมสองทิศทาง, คลื่นสี่เหลี่ยมคางหมูสองทิศทาง และรูปคลื่นอื่นๆ ผลิตภัณฑ์นี้มีรูปคลื่นเอาต์พุตที่ปรับได้ ความถี่เอาต์พุตที่เลือกได้ รอบการทำงานที่ปรับได้ และการควบคุมกำลังไฟฟ้าที่แม่นยำ รวมถึงการเก็บพลังงานต่ำและการตอบสนองของอาร์คที่รวดเร็ว ให้การควบคุมที่สะดวกและแม่นยำสำหรับกระบวนการเคลือบ ผลิตภัณฑ์นี้ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการผลิตฟิล์มบางต่างๆ อุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ และอุตสาหกรรมการเคลือบสุญญากาศ กระบวนการใช้งาน: กระบวนการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอน, การสปัตเตอร์แบบเป้าหมายคู่ และ PECVD แบบท่อ

01

คุณสมบัติหลัก

  • ● การผสมผสานเทคโนโลยีการสวิตช์แบบนุ่มนวลอย่างสมบูรณ์และเซมิคอนดักเตอร์ SiC รุ่นที่สามในฐานะอุปกรณ์กำลัง ส่งผลให้ได้ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม
  • ● เซ็นเซอร์ความเร็วสูงเก็บรวบรวมสัญญาณ VI การประมวลผล FPGA รวดเร็ว เวลาตอบสนอง
  • ● ใช้เทคโนโลยี PFC แบบตัดกันหลายจุด โดยมีค่าตัวประกอบกำลังมากกว่า 0.95
  • ● การเลือกวิธีการตรวจจับประกายไฟได้หลายวิธี ทำให้การระบุการดับประกายไฟมีความน่าเชื่อถือสูง
  • ● โหมดการส่งสัญญาณมีหลากหลาย และสามารถเลือกโหมดต่อเนื่องและโหมดไม่ต่อเนื่องได้
  • ● สามารถเลือกวิธีการควบคุม UI.W ได้

พารามิเตอร์หลัก

ป้อนข้อมูล

  • แรงดันไฟฟ้าขาเข้า 3AC 400V, 50/60Hz
  • ตัวประกอบกำลัง ≥0.9
  • ประสิทธิภาพการแปลง 94%

เอาต์พุต

  • แรงดันเอาต์พุต 600V, 800V
  • กระแสเอาต์พุต 50A—75A
  • ระดับกำลังไฟ 30kW, 20kW*2, 25kW*2, 30kW*2
  • ช่องสัญญาณอินพุต 2 ช่อง
  • ความถี่ 40kHz, 40~200kHz

ดัชนีประสิทธิภาพ

  • กระแสเอาต์พุตผันผวน 2% rms
  • ความแม่นยำในการปรับ ±0.5%
  • เวลาตอบสนองของอาร์ค
  • ไซส์ 4U
  • การสื่อสาร
    รองรับการสื่อสารแบบอนาล็อกและ RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT เป็นตัวเลือกเสริม)

หมายเหตุ: ผลิตภัณฑ์มีการพัฒนาอย่างต่อเนื่องและประสิทธิภาพก็ดีขึ้นเรื่อยๆ คำอธิบายพารามิเตอร์นี้ใช้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้น

ข้อมูลเพิ่มเติม

ดาวน์โหลด

  • เอกสารข้อมูลจำเพาะของแหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลางรุ่น MSB

    65975bapr0ดาวน์โหลด
กลับไปที่ศูนย์โซลูชันด้านพลังงาน