Serie MSB
Alimentazione di sputtering di media frequenza

A serie MSB si basa nantu à a so eccellente tecnulugia di modulazione di forma d'onda per pruduce DC, impulsi DC, onda quadra bidirezionale, onda trapezoidale bidirezionale è altre forme d'onda. U pruduttu hà una forma d'onda di uscita regulabile, una frequenza di uscita selezziunabile, un ciclu di travagliu regulabile è un cuntrollu precisu di a putenza. Oltre à un accumulu di energia bassa è una risposta à l'arcu rapida. Fornisce un cuntrollu convenientu è precisu per u prucessu di rivestimentu. I prudutti sò principalmente aduprati in vari prucessi di fabricazione di film sottili, l'industria di e cellule solari è l'industria di u rivestimentu à vuoto; prucessi d'applicazione: prucessu di sputtering magnetron, sputtering à dui bersagli è PECVD tubulare.

Caratteristiche principali

● A cumbinazione di a tecnulugia di cummutazione cumpletamente dolce è di u SiC di semiconduttori di terza generazione cum'è dispositivi di putenza dà una eccellente efficienza
● Sensore d'alta velocità chì raccoglie VI, trasfurmazione rapida FPGA, tempu di risposta à l'arcu

● Aduttendu a tecnulugia PFC chì si interseca cù parechje, cù un fattore di putenza superiore à 0,95
● Selezzione di parechji metudi di rilevazione di l'arcu, alta affidabilità di l'identificazione di l'estinzione di l'arcu

● I modi di pruduzzione sò diversi, è si ponu selezziunà i modi cuntinui è intermittenti
● Metudu di cuntrollu UI.W selezziunabile

I parametri principali

Input

Tensione d'entrata 3AC400V, 50/60Hz
Fattore di putenza ≥0.9
Efficienza di cunversione 94%

Surtita

Tensione di uscita 600v, 800V
Corrente di uscita 50A—75A
Livellu di putenza 30kW, 20kW * 2, 25kW * 2, 30kW * 2
Canali d'entrata 2 canali
Frequenza 40kHz, 40 ~ 200kHz

Indice di rendiment

Ondulazione di corrente di uscita 2% rms
Ajustamentu di a precisione ±0,5%
Tempu di risposta di l'arcu
Taglia 4U
Cumunicazione
Supporta a cumunicazione analogica è RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT opzionale)

Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu.

Più infurmazione

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Scheda tecnica di l'alimentatore per sputtering di media frequenza di a serie MSB
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