MSB sorozat
Közepes frekvenciájú porlasztásos tápegység

Az MSB sorozat kiváló hullámforma-modulációs technológiájára támaszkodik DC, DC impulzus, kétirányú négyszöghullám, kétirányú trapézhullám és egyéb hullámformák kimenetére. A termék állítható kimeneti hullámformával, választható kimeneti frekvenciával, állítható kitöltési tényezővel és precíz teljesítményszabályozással rendelkezik. Alacsony energiatárolással és gyors ívválaszjellel is rendelkezik. Kényelmes és precíz vezérlést biztosít a bevonási folyamathoz. A termékeket főként különféle vékonyréteg-gyártási folyamatokban, napelemiparban és vákuumbevonatolási iparban használják; alkalmazási folyamatok: magnetronos porlasztás, ikercélú porlasztás és csőszerű PECVD eljárás.

Főbb jellemzők

● A teljesen lágy kapcsolású technológia és a harmadik generációs félvezető SiC teljesítményeszközökként való kombinációja kiváló hatásfokot eredményez.
● Nagy sebességű érzékelő VI-t gyűjt, FPGA gyors feldolgozás, ív válaszideje

● Többszörös, egymást keresztező PFC technológia alkalmazása, 0,95-nél nagyobb teljesítménytényezővel
● Több ívérzékelési módszer kiválasztása, az ív kioltásának azonosításának nagy megbízhatósága

● A kimeneti módok változatosak, folyamatos és szakaszos módok választhatók
● Választható UI.W vezérlési mód

A fő paraméterek

Bemenet

Bemeneti feszültség: 3AC400V, 50/60Hz
Teljesítménytényező ≥0,9
Konverziós hatékonyság 94%

Kimenet

Kimeneti feszültség 600V, 800V
Kimeneti áram 50A—75A
Teljesítményszint 30kW, 20kW*2, 25kW*2, 30kW*2
Bemeneti csatornák: 2 csatorna
Frekvencia 40 kHz, 40~200 kHz

Teljesítményindex

Kimeneti áram hullámossága 2% rms
Beállítási pontosság ±0,5%
Ív válaszideje
4U méret
Kommunikáció
Analóg és RS-485 kommunikáció támogatása (opcionális Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Megjegyzés: a termék folyamatosan fejlődik és a teljesítménye is folyamatosan javul. Ez a paraméterleírás csak tájékoztató jellegű.

További információk

Letöltés

MSB sorozatú középfrekvenciás porlasztásos tápegység – adatlap
Letöltés

Vissza az Energiaellátási Megoldások Központjába

MSB sorozatKözepes frekvenciájú porlasztásos tápegység