MSB-serien
Strømforsyning til mellemfrekvenssputtering

MSB-serien er afhængig af sin fremragende bølgeformmodulationsteknologi til at udsende DC, DC-puls, tovejs firkantbølge, tovejs trapezformet bølge og andre bølgeformer. Produktet har justerbar udgangsbølgeform, valgbar udgangsfrekvens, justerbar duty cycle og præcis effektstyring. Samt lav energilagring og hurtig lysbuerespons. Giver praktisk og præcis kontrol til belægningsprocessen. Produkterne anvendes hovedsageligt i forskellige tyndfilmsfremstillingsprocesser, solcelleindustrien og vakuumbelægningsindustrien; anvendelsesprocesser: magnetronsputteringproces, dobbeltmålssputtering og rørformet PECVD.

Nøglefunktioner

● Kombinationen af fuldt soft switching-teknologi og tredjegenerations halvleder-SiC som strømforsyninger resulterer i fremragende effektivitet
● Højhastighedssensor indsamler VI, FPGA hurtig behandling, bueresponstid

● Anvendelse af flere krydsende PFC-teknologier med en effektfaktor større end 0,95
● Valg af flere metoder til lysbuedetektion, høj pålidelighed ved identifikation af lysbueslukning

● Udgangstilstandene er forskellige, og kontinuerlige og intermitterende tilstande kan vælges
● Styringsmetode UI.W valgbar

De vigtigste parametre

Input

Indgangsspænding 3AC400V, 50/60Hz
Effektfaktor ≥0,9
Konverteringseffektivitet 94%

Produktion

Udgangsspænding 600v, 800V
Udgangsstrøm 50A—75A
Effektniveau 30 kW, 20 kW * 2,25 kW * 2,30 kW * 2
Indgangskanaler 2 kanaler
Frekvens 40kHz, 40~200kHz

Ydelsesindeks

Udgangsstrømsrippel 2% rms
Justeringsnøjagtighed ±0,5%
Bueresponstid
Størrelse 4U
Meddelelse
Understøtter analog og RS-485 kommunikation (valgfri Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Bemærk: Produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen forbedres løbende. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.

Mere information

Download

MSB-seriens mellemfrekvens-sputtering-strømforsyning - datablad
Download

Tilbage til Power Solutions Center

MSB-serienStrømforsyning til mellemfrekvenssputtering