Série MSB
Fonte de alimentação para pulverização catódica de média frequência

A Série MSB utiliza sua excelente tecnologia de modulação de forma de onda para gerar corrente contínua (CC), pulso CC, onda quadrada bidirecional, onda trapezoidal bidirecional e outras formas de onda. O produto possui forma de onda de saída ajustável, frequência de saída selecionável, ciclo de trabalho ajustável e controle preciso de potência. Além disso, apresenta baixo consumo de energia e resposta rápida ao arco voltaico. Proporciona controle conveniente e preciso para o processo de revestimento. Os produtos são utilizados principalmente em diversos processos de fabricação de filmes finos, na indústria de células solares e na indústria de revestimento a vácuo; processos de aplicação: pulverização catódica por magnetron, pulverização catódica com alvo duplo e PECVD tubular.

Principais características

● A combinação da tecnologia de comutação totalmente suave e do semicondutor SiC de terceira geração como dispositivos de potência resulta em excelente eficiência.
● Sensor de alta velocidade coleta VI, processamento rápido FPGA, tempo de resposta do arco

● Adoção de tecnologia PFC com múltiplas intersecções, com fator de potência superior a 0,95
● Seleção de múltiplos métodos de detecção de arco, alta confiabilidade na identificação da extinção do arco

● Os modos de saída são diversos, podendo-se selecionar os modos contínuo e intermitente.
● Método de controle UI.W selecionável

Os principais parâmetros

Entrada

Tensão de entrada 3AC400V, 50/60Hz
Fator de potência ≥0,9
Eficiência de conversão de 94%

Saída

Tensão de saída: 600 V, 800 V
Corrente de saída 50A—75A
Níveis de potência: 30 kW, 20 kW*2, 25 kW*2, 30 kW*2
Canais de entrada: 2 canais
Frequência 40kHz, 40~200kHz

Índice de desempenho

Ondulação da corrente de saída: 2% rms
Precisão de ajuste ±0,5%
Tempo de resposta do arco
Tamanho 4U
Comunicação
Suporte para comunicação analógica e RS-485 (opcional: Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.

Mais informações

Download

Fonte de alimentação para pulverização catódica de média frequência da série MSB - Folha de dados
Download

Voltar ao Centro de Soluções de Energia

Série MSBFonte de alimentação para pulverização catódica de média frequência