Sèrie MSB
Font d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana

La sèrie MSB es basa en la seva excel·lent tecnologia de modulació de forma d'ona per generar CC, polsos de CC, ona quadrada bidireccional, ona trapezoïdal bidireccional i altres formes d'ona. El producte té una forma d'ona de sortida ajustable, una freqüència de sortida seleccionable, un cicle de treball ajustable i un control de potència precís. A més d'un emmagatzematge de baix consum i una resposta d'arc ràpida. Proporciona un control convenient i precís per al procés de recobriment. Els productes s'utilitzen principalment en diversos processos de fabricació de pel·lícules primes, la indústria de cèl·lules solars i la indústria del recobriment al buit; processos d'aplicació: procés de pulverització catòdica magnetrònica, pulverització catòdica de doble objectiu i PECVD tubular.

Característiques clau

● La combinació de tecnologia de commutació totalment suau i SiC semiconductor de tercera generació com a dispositius d'alimentació resulta en una excel·lent eficiència
● El sensor d'alta velocitat recopila VI, processament ràpid de FPGA, temps de resposta d'arc

● Adopció de tecnologia PFC d'intersecció múltiple, amb un factor de potència superior a 0,95
● Selecció de múltiples mètodes de detecció d'arc, alta fiabilitat de la identificació de l'extinció d'arc

● Els modes de sortida són diversos i es poden seleccionar modes continus i intermitents
● Mètode de control seleccionable per UI.W

Els paràmetres principals

Entrada

Tensió d'entrada 3AC400V, 50/60Hz
Factor de potència ≥0,9
Eficiència de conversió 94%

Sortida

Tensió de sortida 600V, 800V
Corrent de sortida 50A—75A
Nivell de potència 30 kW, 20 kW * 2, 25 kW * 2, 30 kW * 2
Canals d'entrada 2 canals
Freqüència 40 kHz, 40 ~ 200 kHz

Índex de rendiment

Ondulació del corrent de sortida 2% rms
Ajust de la precisió ±0,5%
Temps de resposta de l'arc
Mida 4U
Comunicació
Suport de comunicació analògica i RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT opcionals)

Nota: el producte continua innovant i el rendiment continua millorant. Aquesta descripció de paràmetres és només de referència.

Més informació

Descarrega

Fitxa tècnica de la font d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana de la sèrie MSB
Descarrega

Torna al Centre de Solucions Energètiques

Sèrie MSBFont d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana