Serie MSB
Alimentatore per sputtering a media frequenza

La serie MSB si basa sulla sua eccellente tecnologia di modulazione della forma d'onda per emettere CC, impulsi CC, onda quadra bidirezionale, onda trapezoidale bidirezionale e altre forme d'onda. Il prodotto offre forma d'onda di uscita regolabile, frequenza di uscita selezionabile, ciclo di lavoro regolabile e controllo preciso della potenza. Oltre a un basso accumulo di energia e una rapida risposta dell'arco, fornisce un controllo comodo e preciso per il processo di rivestimento. I prodotti sono utilizzati principalmente in vari processi di produzione di film sottili, nell'industria delle celle solari e nell'industria del rivestimento sotto vuoto; processi di applicazione: processo di sputtering magnetron, sputtering a doppio bersaglio e PECVD tubolare.

Caratteristiche principali

● La combinazione della tecnologia di commutazione completamente soft e del semiconduttore SiC di terza generazione come dispositivi di potenza si traduce in un'eccellente efficienza
● Il sensore ad alta velocità raccoglie VI, elaborazione rapida FPGA, tempo di risposta dell'arco

● Adottando la tecnologia PFC a più intersezioni, con un fattore di potenza maggiore di 0,95
● Selezione di metodi di rilevamento di archi multipli, elevata affidabilità dell'identificazione dell'estinzione dell'arco

● Le modalità di uscita sono diverse e possono essere selezionate modalità continue e intermittenti
● Metodo di controllo UI.W selezionabile

I parametri principali

Ingresso

Tensione di ingresso 3AC400V,50/60Hz
Fattore di potenza ≥0,9
Efficienza di conversione 94%

Produzione

Tensione di uscita 600 V, 800 V
Corrente di uscita 50A—75A
Livello di potenza 30kW,20kW*2,25kW*2,30kW*2
Canali di ingresso 2 canali
Frequenza 40kHz, 40~200kHz

Indice di prestazione

Ondulazione della corrente di uscita 2% rms
Precisione di regolazione ±0,5%
Tempo di risposta dell'arco
Dimensioni 4U
Comunicazione
Supporta la comunicazione analogica e RS-485 (opzionale Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.

Ulteriori informazioni

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Scheda tecnica dell'alimentatore per sputtering a media frequenza serie MSB
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