MSB-serien
Strømforsyning for medium frekvenssputtering

MSB-serien er avhengig av sin utmerkede bølgeformmoduleringsteknologi for å sende ut DC, DC-puls, toveis firkantbølge, toveis trapesformet bølge og andre bølgeformer. Produktet har justerbar utgangsbølgeform, valgbar utgangsfrekvens, justerbar driftssyklus og presis effektkontroll. I tillegg til lav energilagring og rask lysbuerespons. Gir praktisk og presis kontroll for belegningsprosessen. Produktene brukes hovedsakelig i ulike tynnfilmproduksjonsprosesser, solcelleindustrien og vakuumbeleggindustrien; applikasjonsprosesser: magnetronsputteringprosess, dobbeltmålsputtering og rørformet PECVD.

Viktige funksjoner

● Kombinasjonen av fullstendig myk svitsjeteknologi og tredjegenerasjons halvleder-SiC som kraftenheter resulterer i utmerket effektivitet
● Høyhastighetssensor samler VI, FPGA rask prosessering, bueresponstid

● Bruk av flere kryssende PFC-teknologier, med en effektfaktor større enn 0,95
● Valg av flere metoder for lysbuedeteksjon, høy pålitelighet for identifisering av lysbueslukking

● Utgangsmodusene er forskjellige, og kontinuerlige og intermitterende moduser kan velges
● Kontrollmetode UI.W valgbar

De viktigste parameterne

Inndata

Inngangsspenning 3AC400V, 50/60Hz
Effektfaktor ≥0,9
Konverteringseffektivitet 94 %

Produksjon

Utgangsspenning 600v, 800V
Utgangsstrøm 50A–75A
Effektnivå 30 kW, 20 kW * 2,25 kW * 2,30 kW * 2
Inngangskanaler 2 kanaler
Frekvens 40 kHz, 40 ~ 200 kHz

Ytelsesindeks

Utgangsstrømrippel 2 % rms
Justeringsnøyaktighet ±0,5 %
Reaksjonstid for lysbuen
Størrelse 4U
Kommunikasjon
Støtter analog og RS-485-kommunikasjon (valgfritt Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Merk: Produktet fortsetter å utvikle seg, og ytelsen fortsetter å forbedres. Denne parameterbeskrivelsen er kun ment som referanse.

Mer informasjon

Last ned

MSB-serien mellomfrekvens sputtering strømforsyning – datablad
Last ned

Tilbake til Power Solutions Center

MSB-serienStrømforsyning for medium frekvenssputtering