German
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Turkish Italian Indonesian Polish Hindi Dutch Malay Persian Thai Vietnamese
65964efzot
Inquiry
Form loading...

MSB-Serie
Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil

Die MSB-Serie nutzt ihre exzellente Wellenformmodulationstechnologie zur Ausgabe von Gleichstrom, Gleichstromimpulsen, bidirektionalen Rechteckwellen, bidirektionalen Trapezwellen und anderen Wellenformen. Das Produkt verfügt über eine einstellbare Ausgangswellenform, eine wählbare Ausgangsfrequenz, ein einstellbares Tastverhältnis und eine präzise Leistungsregelung. Zudem zeichnet es sich durch geringe Energiespeicherung und schnelle Lichtbogenreaktion aus. Es bietet eine komfortable und präzise Steuerung des Beschichtungsprozesses. Die Produkte werden hauptsächlich in verschiedenen Dünnschicht-Fertigungsprozessen, der Solarzellenindustrie und der Vakuumbeschichtungsindustrie eingesetzt; Anwendungsprozesse sind Magnetron-Sputtern, Doppeltarget-Sputtern und Röhren-PECVD.

01

Hauptmerkmale

  • ● Die Kombination aus vollständig weichschaltender Technologie und SiC-Halbleitern der dritten Generation als Leistungshalbleiter führt zu einem hervorragenden Wirkungsgrad.
  • ● Hochgeschwindigkeitssensor erfasst VI, schnelle FPGA-Verarbeitung, Lichtbogenreaktionszeit
  • ● Einsatz einer mehrfach überlappenden PFC-Technologie mit einem Leistungsfaktor von über 0,95
  • ● Auswahl mehrerer Lichtbogenerkennungsmethoden, hohe Zuverlässigkeit der Lichtbogenlöschungserkennung
  • ● Die Ausgabemodi sind vielfältig; es können kontinuierliche und intermittierende Modi ausgewählt werden.
  • ● Steuerungsmethode UI.W auswählbar

Die wichtigsten Parameter

Eingang

  • Eingangsspannung 3AC 400 V, 50/60 Hz
  • Leistungsfaktor ≥0,9
  • Umwandlungseffizienz 94 %

Ausgabe

  • Ausgangsspannung 600 V, 800 V
  • Ausgangsstrom 50A—75A
  • Leistungsstufen 30 kW, 20 kW × 2, 25 kW × 2, 30 kW × 2
  • Eingangskanäle 2 Kanäle
  • Frequenz 40 kHz, 40–200 kHz

Leistungsindex

  • Ausgangsstromwelligkeit 2% eff.
  • Einstellgenauigkeit ±0,5 %
  • Lichtbogenreaktionszeit
  • Größe 4U
  • Kommunikation
    Unterstützt analoge und RS-485-Kommunikation (optional Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Hinweis: Das Produkt wird kontinuierlich weiterentwickelt und seine Leistung verbessert sich stetig. Diese Parameterbeschreibung dient lediglich als Referenz.

Weitere Informationen

Herunterladen

  • MSB-Serie Mittelfrequenz-Sputternetzteil – Datenblatt

    65975bapr0Herunterladen
Zurück zum Energielösungszentrum