MSB-sarja
Keskitaajuinen sputterointivirtalähde

MSB-sarja hyödyntää erinomaista aaltomuotojen modulointitekniikkaansa tuottaakseen tasavirtaa, tasavirtapulsseja, kaksisuuntaisia neliöaaltoja, kaksisuuntaisia trapetsoidiaaltoja ja muita aaltomuotoja. Tuotteessa on säädettävä lähtöaaltomuoto, valittavissa oleva lähtötaajuus, säädettävä käyttösuhde ja tarkka tehonsäätö. Sekä alhainen energian varastointikyky ja nopea valokaaren vasteaika. Ne tarjoavat kätevän ja tarkan pinnoitusprosessin hallinnan. Tuotteita käytetään pääasiassa erilaisissa ohutkalvojen valmistusprosesseissa, aurinkokennoteollisuudessa ja tyhjiöpinnoitusteollisuudessa; sovellusprosesseissa: magnetronisputterointiprosessi, kaksoiskohteen sputterointi ja putkimainen PECVD-pinnoitus.

Tärkeimmät ominaisuudet

● Täysin pehmeän kytkentätekniikan ja kolmannen sukupolven puolijohde-SiC:n yhdistelmä teholaitteina johtaa erinomaiseen hyötysuhteeseen
● Nopea anturi kerää VI:ta, FPGA:n nopea prosessointi, kaaren vasteaika

● Käyttää useita toisiaan leikkaavia PFC-tekniikoita, joiden tehokerroin on yli 0,95
● Useiden valokaaren tunnistusmenetelmien valinta, valokaaren sammutuksen tunnistuksen korkea luotettavuus

● Lähtötilat ovat monipuolisia, ja valittavana on jatkuva ja ajoittainen tila
● Ohjausmenetelmä UI.W valittavissa

Tärkeimmät parametrit

Syöttö

Tulojännite 3AC400V, 50/60Hz
Tehokerroin ≥0,9
Muunnostehokkuus 94 %

Lähtö

Lähtöjännite 600 V, 800 V
Lähtövirta 50A—75A
Tehotaso 30kW, 20kW * 2, 25kW * 2, 30kW * 2
Tulokanavat 2 kanavaa
Taajuus 40 kHz, 40–200 kHz

Suorituskykyindeksi

Lähtövirran ripple 2 % rms
Säätötarkkuus ±0,5 %
Valokaaren vasteaika
Koko 4U
Viestintä
Tukee analogista ja RS-485-tiedonsiirtoa (valinnainen Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Huomautus: Tuotetta kehitetään jatkuvasti ja sen suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrikuvaus on vain viitteellinen.

Lisätietoja

Lataa

MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde - tietolomake
Lataa

Takaisin Power Solutions Centeriin

MSB-sarjaKeskitaajuinen sputterointivirtalähde