Séria MSB
Napájací zdroj pre strednofrekvenčné naprašovanie

Séria MSB sa spolieha na svoju vynikajúcu technológiu modulácie tvaru vlny na výstup jednosmerného prúdu, jednosmerného impulzu, obojsmernej štvorcovej vlny, obojsmernej lichobežníkovej vlny a iných tvarov vlny. Produkt má nastaviteľný výstupný tvar vlny, voliteľnú výstupnú frekvenciu, nastaviteľný pracovný cyklus a presné riadenie výkonu. Okrem toho má nízke skladovanie energie a rýchlu odozvu oblúka. Poskytuje pohodlné a presné riadenie procesu nanášania povlakov. Produkty sa používajú hlavne v rôznych procesoch výroby tenkých vrstiev, v priemysle solárnych článkov a priemysle vákuového nanášania; aplikačné procesy: proces magnetrónového naprašovania, naprašovanie dvojitých terčov a rúrkové PECVD.

Kľúčové vlastnosti

● Kombinácia plne mäkkej spínacej technológie a polovodičového SiC tretej generácie ako výkonových prvkov vedie k vynikajúcej účinnosti
● Vysokorýchlostný senzor zhromažďuje VI, rýchle spracovanie FPGA, doba odozvy oblúka

● Využitie technológie viacnásobného pretínajúceho sa PFC s účinníkom väčším ako 0,95
● Výber viacerých metód detekcie oblúka, vysoká spoľahlivosť identifikácie hasenia oblúka

● Výstupné režimy sú rôzne a je možné zvoliť nepretržitý a prerušovaný režim
● Voliteľná metóda ovládania UI.W

Hlavné parametre

Vstup

Vstupné napätie 3AC 400V, 50/60Hz
Účinník ≥0,9
Účinnosť konverzie 94 %

Výstup

Výstupné napätie 600 V, 800 V
Výstupný prúd 50A—75A
Úroveň výkonu 30 kW, 20 kW*2, 25 kW*2, 30 kW*2
Vstupné kanály 2 kanály
Frekvencia 40 kHz, 40 ~ 200 kHz

Index výkonnosti

Zvlnenie výstupného prúdu 2 % rms
Presnosť nastavenia ±0,5%
Doba odozvy oblúka
Veľkosť 4U
Komunikácia
Podpora analógovej a RS-485 komunikácie (voliteľné Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Poznámka: Produkt sa neustále vylepšuje a jeho výkon sa neustále zlepšuje. Tento popis parametrov slúži len na referenčné účely.

Viac informácií

Stiahnuť

Stredofrekvenčný naprašovací zdroj série MSB - technický list
Stiahnuť

Späť do Centra energetických riešení

Séria MSBNapájací zdroj pre strednofrekvenčné naprašovanie