Série MSB
Alimentation pour pulvérisation cathodique moyenne fréquence

La série MSB s'appuie sur une excellente technologie de modulation de forme d'onde pour générer des signaux CC, des impulsions CC, des ondes carrées bidirectionnelles, des ondes trapézoïdales bidirectionnelles et d'autres formes d'onde. Ce produit offre une forme d'onde de sortie ajustable, une fréquence de sortie sélectionnable, un rapport cyclique réglable et un contrôle précis de la puissance. Il se caractérise également par une faible consommation d'énergie et une réponse rapide à l'arc électrique. Il permet un contrôle précis et pratique du processus de revêtement. Ces produits sont principalement utilisés dans divers procédés de fabrication de couches minces, dans l'industrie des cellules solaires et dans l'industrie du revêtement sous vide ; procédés d'application : pulvérisation cathodique magnétronique, pulvérisation cathodique à double cible et PECVD tubulaire.

Caractéristiques principales

● L'association d'une technologie de commutation entièrement douce et de semi-conducteurs SiC de troisième génération comme dispositifs de puissance permet d'obtenir un excellent rendement.
● Capteur haute vitesse collectant les données VI, traitement rapide par FPGA, temps de réponse

● Utilisation de la technologie PFC à plusieurs points d'intersection, avec un facteur de puissance supérieur à 0,95
● Sélection de plusieurs méthodes de détection d'arc, haute fiabilité de l'identification de l'extinction d'arc

● Les modes de sortie sont variés, et les modes continu et intermittent peuvent être sélectionnés.
● Méthode de contrôle UI.W sélectionnable

Les principaux paramètres

Saisir

Tension d'entrée 3 AC 400 V, 50/60 Hz
Facteur de puissance ≥ 0,9
Rendement de conversion 94%

Sortir

Tension de sortie 600 V, 800 V
Courant de sortie 50 A — 75 A
Niveau de puissance : 30 kW, 20 kW x 2, 25 kW x 2, 30 kW x 2
Canaux d'entrée : 2 canaux
Fréquence 40 kHz, 40~200 kHz

Indice de performance

Ondulation du courant de sortie 2 % rms
Précision de réglage ±0,5%
Temps de réponse de l'arc
Taille 4U
Communication
Prise en charge des communications analogiques et RS-485 (Profibus, ProfiNet, EtherCAT en option)

Remarque : ce produit continue d’innover et ses performances de s’améliorer. Cette description des paramètres est donnée à titre indicatif uniquement.

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Fiche technique de l'alimentation pour pulvérisation cathodique moyenne fréquence série MSB
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